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一般立式無油往復真空泵發生的故障有真空度過低，電機過載，運轉過程中噪音變大，那么可根據以下情況具體實施故障消除。
1）吸入氣體溫度太高，解決辦法是加冷卻裝置冷卻氣體，
2）氣閥片與閥座接觸不良，解決辦法是刮研（刮研是利用刮刀、基準表面、測量工具和顯示劑，以手工操作的方式，邊研點邊測量，邊刮研加工，使工件達到工藝上規定的尺寸、幾何形狀、表面粗糙度和密合性）
3）氣缸與活塞環間隙過大解決辦法是更換活塞環
4）端蓋與活塞余隙過大就是需要調整間隙了。
5）造成電機過載的原因有偏心圈間隙過小，那么就需要調整間隙
6）如果發生排氣不暢也容易導致電機過載
7）如果連桿瓦燒毀后則就需要更換或者維修
8）運轉過程中噪音變大需要檢查是否有活塞桿螺母松動，然后緊固一下即可
9）如果連桿軸襯和十字頭銷磨損則需要修理更換
10）如果氣缸內有雜物的話也會產生較大的噪音。這時候就需要清理氣缸了。